이 문서의 개요에서 365 나노 미터 리소그래피에 화학적으로 열 경화하여 증폭 미리 염색 된 포지티브 형 포토 레지스트를 이용하여 CCD와 CMOS 이미지 센서를위한 컬러 필터 어레이

Diazonaphthoquinone-novolak 포토 레지스트는 각 색상 레이어를 연속적으로 증착하고 패턴 화하여 이러한 필터를 생성하는 데 사용됩니다.

이 인용문에 대한 나의 이해는 과정이 다음과 같다는 것입니다.

1. 염료 (적색, 녹색 또는 청색)가 첨가 된 포토 레지스트 (가시 광선에서는 상대적으로 투명하지만 450nm에서 UV에서 강하게 흡수하는 중합체 및 증감 제)가 센서 표면에 증착됩니다.
2. 포토 레지스트 위에 금속 패턴 마스크를 배치
3. 포토 레지스트의 마스킹되지 않은 영역은 디아 조나 프토 퀴논이 변형되는 UV 광원에 의해 노출된다
4. 마스크가 제거되었습니다
5. 노출 된 포토 레지스트는 수성 용매로 용해되고, 노출되지 않은 영역은 쉽게 용해되지 않으므로 남아있다
6. 다른 염료와 다른 마스크를 사용하여 1-5 반복

이 포토 레지스트의 작동 방식에 대한 설명은 en.wikipedia.org/wiki/Diazonaphthoquinone 을 참조하십시오 .

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